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高級別電子無塵車間

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當今世界,微電子和光電子產業已成為一個國家、一個地區國民經濟和科學技術發展的基礎和平臺,也是衡量一個國家和地區經濟發展和科學技術水平的重要標志。

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高級別潔凈室是指潔凈室的潔凈度高(ISO-2、3、4、5級),生產環境溫濕度的精度高,其他一些環境參數,例如:靜壓差、靜電、微振、電磁、噪聲、照度等參數都必須按生產工藝的要求進行嚴格控制的潔凈室。這類面積大、環境參數要求高的潔凈室廣泛地應用在電子工業廠房中。

以超大規模集成電路為代表的微電子產業,在十年中全世界年平均增長率高達15%。2010年全世界微電子產品的銷售額高達6 0008 000億美元。我國成為全球第二大半導體市場。而光電子是繼微電子技術之后十年內迅速崛起的新興高科技產業,它是集固體物理、導波光學、材料力學、微細加工和微電子技術為一體,是微電子技術和光電子技術的結合和擴展,對生產環境的參數,原材料的純度以及生產設備和技術都等同甚至超過大規模集成電路的生產要求。2010年以光電子產業為代表的信息產品的總產值突破50 000億美元。

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    我國在微電子產業方面,“八·五”、“九·五”“十五”期間發展很快,超大規模集成電路生產線相繼建成投產。在光電子產業方面已成為我國光電子產業的新的增長點。百級以上高級別潔凈室在我國電子工廠中的應用已經成長為科技創新和經濟轉型的時代要求,要把其上升到民族工業振興和民族復興的政治高度來認識。

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